[发明专利]显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法

摘要

本发明提供操作带电粒子显微镜的方法以及显微镜系统。该方法包括：使用第一设置下的带电粒子显微镜记录物体的第一区域的第一图像；使用第二设置下的带电粒子显微镜记录物体的第二区域的第二图像；第二设置与第一设置在用于成像的一次带电粒子的动能、探测器设置、一次带电粒子的束电流和测量室内的压强中的至少一个上不同；读取物体的第三区域的第三图像，第一和第二区域至少部分地包含在第三区域中；显示第三图像的至少一部分；在第三图像中至少部分地显示第一图像的图示，第一图像的图示包括指示第一设置的第一指示体；在第三图像中至少部分地显示第二图像的图示，第二图像的图示包括指示第二设置的第二指示体，第二指示体不同于第一指示体。

主权项

一种操作带电粒子显微镜(2)的方法，该方法包括：使用该带电粒子显微镜(2)以第一设置记录物体(10)的第一区域(311)的第一图像；使用该带电粒子显微镜(2)以第二设置记录该物体(10)的第二区域(313)的第二图像，其中该第二设置与该第一设置在该带电粒子显微镜用于成像的一次带电粒子的动能、用于成像的探测器设置、用于成像的该一次带电粒子的束电流以及该带电粒子显微镜(2)的测量室(21)内的压强中的至少一个上不同；读取该物体(10)的第三区域(312)的第三图像(212)，其中该第一区域和该第二区域(311，313)至少部分地包含在该第三区域(312)中；显示该第三图像(212)的至少一部分；在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第一图像(211)的图示，其中该第一图像(211)的图示包括指示该第一设置的第一指示体；在所显示的第三图像(212)中至少部分地显示该第二图像(213)的图示，其中该第二图像(213)的图示包括指示该第二设置的第二指示体，并且其中所显示的第二指示体与所显示的第一指示体不同。