[发明专利]热喷涂粉末、形成热喷涂涂层的方法以及抗等离子体构件

摘要

热喷涂粉末包含原子序从60到70的任意稀土元素的氧化物组成的粒化烧结颗粒。组成粒化烧结颗粒的原始颗粒的平均颗粒尺寸是2到10μm。粒化烧结颗粒的抗压强度是7到50MPa。抗等离子体构件包括衬底和设置在衬底表面上的热喷涂涂层。热喷涂涂层通过热喷涂形成，最好通过等离子体热喷涂所述热喷涂粉末。

主权项

一种等离子体处理室，用于处理由等离子体处理的物体，所述等离子体处理室内具有抗等离子体构件，其中所述抗等离子体构件包括：衬底；以及热喷涂涂层，设置在暴露于所述等离子体的所述衬底的至少一个表面上，其中，所述热喷涂涂层由热喷涂粉末通过热喷涂形成，所述热喷涂粉末包含原子序从60到70的任意稀土元素的氧化物组成的粒化烧结颗粒，其中，组成所述粒化烧结颗粒的原始颗粒的平均颗粒尺寸是2到10μm，且其中，所述粒化烧结颗粒的抗压强度是7到55MPa。