[实用新型]供给箱有效

专利信息
申请号: 201120001044.8 申请日: 2011-01-04
公开(公告)号: CN201997441U 公开(公告)日: 2011-10-05
发明(设计)人: 徐涛 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: B05C11/10 分类号: B05C11/10;B05C11/11;H01L21/00
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种供给箱,涉及半导体领域,解决了现有技术中由于光阻剂自身化学性质导致供给箱更换频繁,严重影响设备的稼动率的问题。所述供给箱,包括存储室以及位于所述存储室底部的注射头,还包括冷藏室和解冻室,所述存储室中导流管的入口与所述解冻室的出口连接,所述导流管的入口与所述解冻室的出口之间设有第一开关装置,所述解冻室的入口与所述冷藏室的出口连接,所述述解冻室的入口与所述冷藏室的出口之间设有第二开关装置。除光阻剂外,本实用新型实施例提供的供给箱适用于其他需要低于常温进行保存的液体。如果将冷藏室改为高温室,解冻室改为制冷室,本实用新型实施例提供的供给箱也适用于其他需要高于常温进行保存的液体。
搜索关键词: 供给
【主权项】:
一种供给箱,其特征在于,包括冷藏室和解冻室,所述冷藏室的出口与所述解冻室的入口连接,所述解冻室设有输出装置,所述解冻室的输出装置用于导出解冻室内的液体。
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