[实用新型]多晶硅分解炉有效
| 申请号： | 201120002506.8 | 申请日： | 2011-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN201932914U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 钱园;吴文军;陶德炎;金杰 | 申请（专利权）人： | 南通星瑞热交换容器有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 赵绍增 |
| 地址： | 226500 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体和设在炉体底部的底盘，炉体和底盘上均设有冷却水夹套，底盘上均布有二十四对电极座和十二个进气孔，每个进气孔对应相邻两对电极座，电极座上安装有硅芯；所述硅芯外套装有导热油夹套，该导热油夹套的内圈直径大于硅芯直径。硅烷通过进气孔进入炉体内后在高温通电硅芯上分解，生成棒状多晶硅产品。通过导热油夹套对硅芯周围的温度进行有效的控制，达到控制多晶硅生长速度的目的，使得大多数硅烷在硅芯的表面上分解，大大减少多晶硅颗粒的形成，提高了生产效率。硅芯周围的温度得到有效控制，可降低生产能耗，避免炉体内温度过高提高炉体的设计壁厚，降低了分解炉的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 分解 | ||
【主权项】：
一种多晶硅分解炉，包括钟罩式炉体和设在炉体底部的底盘，炉体和底盘上均设有冷却水夹套，其特征在于：所述底盘上均布有二十四对电极座和十二个进气孔，每个进气孔对应相邻两对电极座，电极座上安装有硅芯；所述硅芯外套装有导热油夹套，该导热油夹套的内圈直径大于硅芯直径。
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