[实用新型]镀膜玻璃实验线有效
| 申请号： | 201120011638.7 | 申请日： | 2011-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN201933147U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐日宏;徐天辅;光宣标 | 申请（专利权）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市维邦知识产权事务所 44269 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例涉及一种镀膜玻璃实验线，其溅射装置采用了由动力源驱动旋转的旋转基片架以及用于镀膜溅射的至少两副孪生靶，因此，在旋转基片架旋转之时，采用至少两副孪生靶进行镀膜溅射，可同时完成多样片制作，或者同时进行多层膜样品制作，大大提高了生产效率，并减短了制备周期，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 玻璃 实验 | ||
【主权项】：
一种镀膜玻璃实验线，包括镀膜室、设置于所述镀膜室中的溅射装置及与所述镀膜室相连的抽真空装置，其特征在于，所述溅射装置包括放置样品的旋转基片架、驱动所述旋转基片架旋转的动力源，以及至少两副设置于所述旋转基片架对应位置的孪生靶。
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