[实用新型]一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口及其接头有效
| 申请号： | 201120013824.4 | 申请日： | 2011-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN201971892U | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/22 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，与所述抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，所述抽气接头的一侧开有与所述抽气口大小形状完全一样的抽气接口，与抽气接口相对的另一侧开有出气口，所述抽气接头的抽气接口与所述抽气口对接后与真空镀膜机的镀室连通，所述抽气接头的出气口与抽气系统的抽气泵连通，所述抽气接头的抽气接口与出气口之间为用于气流均匀缓冲过渡的缓冲过渡段。本实用新型通过对抽气口及其接头的设置，获得对镀膜机镀室的较均匀的抽气效果，提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 均匀 气口 及其 接头 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，其特征在于：所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，![]()
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