[实用新型]一种圆形旋转加热装置有效
| 申请号： | 201120014077.6 | 申请日： | 2011-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN201999985U | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;藤野诚治 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种圆形旋转加热装置，涉及材料蒸镀制备技术领域，所述装置包括圆柱形基座，所述圆柱形基座上设置有数个沿圆周排列的加热源，每个加热源上设置有坩埚，所述基座中心设置有圆孔，所述圆孔与连接所述基座底部的圆管一端相对应，所述圆管另一端摆放着通过加热设备控制并与各个加热源以加热线相连的数个连接器，所述装置还包括设置在所述数个加热源之间用于覆盖所述圆孔的盖板，所述盖板高度比加热源低。通过在现有圆形旋转加热装置上增设盖板，防止蒸发的有机材料沉积在热线路和连接器上，从而保证了圆形旋转加热装置的正常运作和蒸镀工序顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 旋转 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种圆形旋转加热装置，所述装置包括圆柱形基座，所述圆柱形基座上设置有数个沿圆周排列的加热源，每个加热源上设置有坩埚，所述基座中心设置有圆孔，所述圆孔与连接所述基座底部的圆管一端相对应，所述圆管另一端摆放着通过加热设备控制并与各个加热源以加热线相连的数个连接器，其特征在于，所述装置还包括设置在所述数个加热源之间用于覆盖所述圆孔的盖板，所述盖板高度比加热源低。
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