[实用新型]用于扩散炉的碳化硅桨无效
申请号: | 201120030387.7 | 申请日: | 2011-01-28 |
公开(公告)号: | CN202030864U | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 刘亮;姚桂华;陈磊 | 申请(专利权)人: | 绿华能源科技(杭州)有限公司 |
主分类号: | C30B31/14 | 分类号: | C30B31/14 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 俞润体 |
地址: | 311202 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种碳化硅桨,尤其涉及一种用于制作太阳电池硅片的扩散炉中的碳化硅桨。包括碳化桨体,所述的碳化桨体中设有石英舟孔位。用于印染的除尘器结构简单,效率高,减少环境污染。 | ||
搜索关键词: | 用于 扩散 碳化硅 | ||
【主权项】:
一种用于扩散炉的碳化硅桨,其特征在于:包括碳化桨体(1),所述的碳化桨体(1)中设有石英舟孔位(2)。
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