[实用新型]一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型属于提纯多晶硅领域。一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，感应线圈的内部装有保温套筒，保温套筒的上面活动安装保温套盖，保温套盖通过保温盖连杆连接到炉盖上，保温套筒的里面套装石墨套筒，保温套筒和石墨套筒均固定在支架上，石墨套筒的上面安装料斗支架，料斗支架的上面安装石墨料斗，石墨料斗的开口处石墨盘由石墨杆连接到顶部螺杆，顶部螺杆由顶部变速箱、伺服电机共同控制升降，水冷铜托盘通过底座支架连接在炉底盖上，石墨支架直接支撑在水冷铜托盘上，石墨托盘支撑在石墨支架上，石墨托盘上面是石墨坩埚，石墨坩埚里面套装石英坩埚。本实用新型使用二级散热改善感应熔炼中的热场分布，增加了能量的利用率，降低了成本。

主权项

一种底部散热的感应熔炼多晶硅铸锭炉，其特征是：感应线圈（12）的内部装有保温套筒（9），保温套筒（9）的上面活动安装保温套盖（7），保温套盖（7）通过保温盖连杆（5）连接到炉盖（6）上，保温套筒（9）的里面套装石墨套筒（29），保温套筒（9）和石墨套筒（29）均固定在支架（17）上，石墨套筒（29）的上面安装料斗支架（11），料斗支架（11）的上面安装石墨料斗（10），料斗支架（11）和石墨料斗（10）共同围成一个加料的空间，石墨料斗（10）的开口处是石墨盘（8），石墨盘（8）由石墨杆（4）连接到顶部螺杆（1），顶部螺杆（1）由顶部变速箱（2）、伺服电机（3）共同控制升降，炉底部分的水冷铜托盘（22）通过底座支架（23）连接在炉底盖（21）上，石墨支架（19）直接支撑在水冷铜托盘（22）上，石墨托盘（18）支撑在石墨支架（19）上，石墨托盘（18）上面是石墨坩埚，石墨坩埚里面套装石英坩埚（14）。