[实用新型]一种半导体封装设备自动上料系统无效
申请号: | 201120037553.6 | 申请日: | 2011-02-14 |
公开(公告)号: | CN202103031U | 公开(公告)日: | 2012-01-04 |
发明(设计)人: | 赵新民 | 申请(专利权)人: | 南通富士通微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/677 |
代理公司: | 北京市惠诚律师事务所 11353 | 代理人: | 雷志刚;潘士霖 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种半导体封装设备自动上料系统,主要包括上料平台装置、料篮、顶料装置、叉架装置和推料装置。与现有技术相比,本实用新型请求保护的一种半导体封装设备自动上料系统,利用顶料装置将整组框架或载板送到指定位置,再通过嵌入式叉架装置实现框架或载板的单片分离,由推料装置将产品推送入轨道来实现设备的全自动上料,本系统结构简单、不占空间、加工不同产品时结构易调整、运行稳定、成本低廉,大大提高了生产效率和设备利用效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 设备 自动 系统 | ||
【主权项】:
一种半导体封装设备自动上料系统,其特征在于,所述自动上料系统包括以下五部分构成:一是上料平台装置,二是料篮,三是顶料装置,四是叉架装置,五是推料装置;所述上料平台装置包括上料平台、料篮卡槽和产品传感器,所述上料平台中间设有导引槽,所述导引槽与设备轨道连接,所述料篮卡槽固定于导引槽的两侧,所述产品传感器固定于上料平台上且位于导引槽的侧边;所述料篮置于所述料篮卡槽内;所述顶料装置位于所述上料平台导引槽的下方,顶料装置包括顶料气缸、顶料板和气缸固定块,所述顶料板固定于所述顶料气缸的上方,所述顶料气缸被所述气缸固定块固定于设备上;所述叉架装置包括叉架气缸、叉架、叉架导轨、叉架连接块和缓冲器,所述叉架气缸固定在所述上料平台底面,所述叉架固定在所述叉架导轨上,叉架导轨安装于上料平台上,所述叉架连接块连接叉架气缸和叉架,所述缓冲器安装于叉架连接块上;所述推料装置包括推料气缸、推料导轨、推料连接块和推料挡块,所述推料气缸和所述推料导轨固定于所述上料平台的底面,所述推料连接块连接推料气缸和推料导轨,所述推料挡块套在推料连接块上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造