[实用新型]硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置

摘要

一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅固固分离回收的装置：进口管连接到垂直电泳槽筒体上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管，下方为阴极电极管，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管，硅出口管另一侧连接硅出口泵，硅出口泵连接到硅回收罐中；阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐中，外置电源正极连接到阳极电极管上，负极连接到阴极电极管上。本实用新型在电极的设计上，采用了电极管的形式，并且在电极管上开了若干小孔，这样当硅或碳化硅附着到电极上后，通过连接到电极管外的泵的作用下，硅或碳化硅穿过小孔进入到主电极管中从而带出电解槽，实现装置的连续化出料。该装置克服了水平电泳带来的重力影响的问题，提高了产品纯度。

主权项

一种硅片切割废砂浆中硅与碳化硅分离回收装置，其特征是：进口管(1)连接到垂直电泳槽筒体(2)上，在垂直电泳槽中上方为阳极电极管(3)下方为阴极电极管(4)，阳极电极管由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阳极电极管下方有小孔，阳极电极管主电极管出口连接硅出口管(5)，硅出口管另一侧连接硅出口泵(6)，硅出口泵连接到硅回收罐(7)中；阴极电极管也是由一根主电极管和相垂直的副电极管组成，阴极电极管上方有小孔，阴极电极管主电极管连接碳化硅出口管(8)，碳化硅出口管另一侧连接碳化硅出口泵(9)，碳化硅出口泵连接到碳化硅回收罐(10)中，外置电源(11)正极连接到阳极电极管上，负极连接到阴极电极管上。