[实用新型]一种直拉单晶炉用热场

摘要

本实用新型涉及一种直拉单晶炉用热场，热场从上到下，有上保温盖，上保温层，热屏支撑环和保温筒，保温筒分为上保温筒、中保温筒和下保温筒，热场底部具有底部保温层，热场中心设有支承轴，支承轴上具有坩埚托盘，坩埚托盘上依次是碳碳坩埚和石英坩埚，保温筒和碳碳坩埚之间设有加热器，热屏支撑环连接有热屏，热屏为内外两层，中间有碳毡隔热层，上保温层的厚度为20～40mm，上保温筒内径与加热器内径之间的距离5～10mm，底部保温层厚度为100～140mm。本方案通过优化热屏的结构和调整底部保温结构，来改善单晶炉的保温效果，改善热场分布，从而降低能量消耗，本方案相比现有热场能耗降低了30％左右，同时长晶速度也提高了20％。

主权项

一种直拉单晶炉用热场，其特征是：所述热场从上到下，有上保温盖(1)，上保温层(12)，热屏支撑环(2)和保温筒，保温筒分为上保温筒(3)、中保温筒(5)和下保温筒(19)，热场底部具有底部保温层，热场中心设有支承轴(16)，支承轴(16)上具有坩埚托盘(15)，坩埚托盘(15)上依次是碳碳坩埚(14)和石英坩埚(13)，保温筒和碳碳坩埚(14)之间设有加热器(6)，热屏支撑环(2)连接有热屏，所述热屏为内外两层，中间有碳毡隔热层，其特征是：所述的上保温层(12)的厚度为20～40mm，所述的上保温筒(3)内径与加热器(6)内径之间的距离5～10mm，底部保温层厚度为100～140mm。