[实用新型]激光光束聚焦焦斑检测装置

摘要

本实用新型公开了一种激光光束聚焦焦斑检测装置，用于检测激光光束通过光学机构后在工件上的聚焦变化，其包括挡板、平凸柱面透镜、相机、监视器及依次排列且中心均位于第一光轴上的激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片、对物透镜，挡板设于偏振分光棱镜与激光器之间并将圆形的线性偏振激光光束阻挡成为半圆形的线性偏振激光光束，对物透镜正对工件，偏振分光棱镜、平凸柱面透镜与相机的镜面的中心均位于与第一光轴正交的第二光轴上，平凸柱面透镜的凸面正对相机的镜面，监视器与相机连接并显示图像。本实用新型的激光光束聚焦焦斑检测装置结构合理、操作简便、精度高、成像清晰且能将激光焦斑的位置变化直观地显示。

主权项

一种激光光束聚焦焦斑检测装置，用于检测激光光束通过光学机构后在工件上的聚焦变化，其特征在于，包括挡板、平凸柱面透镜、相机、监视器及依次排列并相互平行设置的线性偏振激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片、对物透镜，所述线性偏振激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片及对物透镜的中心位于同一直线上形成第一光轴，所述线性偏振激光器产生平行的线性偏振激光光束，所述线性偏振激光光束呈圆形，所述挡板设于所述偏振分光棱镜与所述激光器之间并将所述圆形的线性偏振激光光束阻挡成为半圆形的线性偏振激光光束，所述对物透镜正对所述工件，所述相机具有镜面，所述偏振分光棱镜、平凸柱面透镜及相机的镜面依次排列并相互平行设置，所述偏振分光棱镜、平凸柱面透镜及相机的镜面的中心位于同一直线上形成第二光轴，所述第一光轴与第二光轴正交，所述平凸柱面透镜的凸面正对所述相机的镜面，所述监视器与所述相机连接并显示图像。