[实用新型]高速数字扫描直写光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，其包括光源、光源准直光路、图形发生器、成像光路系统、基底、自动运动平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的拼接，设计文档通过电脑传送至数据处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光源准直光路，产生均匀的面光源投影至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进入成像光路系统，曝光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。本实用新型可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率，降低了产品的生产成本。

主权项

一种高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于，其包括光源、光源准直光路、图形发生器、成像光路系统、基底、自动运动平台、电脑、数据处理引擎、数据传输板、成像镜头，成像镜头组至少包含两个数字微镜阵列和锥形反射棱镜，锥形反射棱镜实现数字微镜阵列的拼接，设计文档通过电脑传送至数据处理引擎、数据传输板，曝光光线从光源发出，进入光源准直光路，产生均匀的面光源投影至图形发生器，图形发生器上的图形信息伴随光线进入成像光路系统，曝光光线穿过投影光路最后投影在自动运动平台所载的基底上。