[实用新型]喷雾狭缝式的基板清洗装置有效
| 申请号： | 201120065253.9 | 申请日： | 2011-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN202052719U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 龚棉英;李玟澄 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B05B7/04 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷雾狭缝式的基板清洗装置，包含雾化装置，该雾化装置之内至少具有第一流体腔室、第二流体腔室、分流室及雾化作用室，第一流体腔室与该第二流体腔室为分隔设置且互不连通，第一流体腔室及第二流体腔室都设于该雾化作用室之上，该第一流体腔室具有至少一个气体注入部，该至少一个气体注入部可接设一气体供给管，该第一流体腔室与该雾化作用室之间设置有第一流通道，该第二流体腔室具有至少一个液体注入部，该至少一个液体注入部可接设一液体供给管，该第二流体腔室与该分流室之间设有第二流通道，其中该分流室与该雾化作用室之间设置有多个分流孔，该雾化作用室的底端则连通于一排出通道，该排出通道的底端出口为一喷出口。 | ||
| 搜索关键词： | 喷雾 狭缝 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种喷雾狭缝式的基板清洗装置，其特征在于，包含有一雾化装置，该雾化装置之内至少具有一第一流体腔室、一第二流体腔室、一分流室及一雾化作用室，该第一流体腔室与该第二流体腔室为分隔设置且互不连通，该第一流体腔室及第二流体腔室都设于该雾化作用室之上，该第一流体腔室具有至少一个气体注入部，该至少一个气体注入部可接设一气体供给管，该第一流体腔室与该雾化作用室之间设置有一第一流通道，该第二流体腔室具有至少一个液体注入部，该至少一个液体注入部可接设一液体供给管，该第二流体腔室与该分流室之间设有一第二流通道，其中该分流室与该雾化作用室之间设置有多个分流孔，该雾化作用室的底端则连通于一排出通道，该排出通道的底端出口为一喷出口。
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