[实用新型]多晶硅铸锭炉坩埚侧板有效
| 申请号： | 201120072530.9 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN202039149U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 龙礼妹;南志华;李恒文 | 申请（专利权）人： | 石金精密科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽，通槽至少为两个。本实用新型通过在侧板的板体顶部设置用于加快热场内冷却气体流通的通槽，改善了热场内的散热条件，极大的改善了多晶硅结晶的质量，从而提高了多晶硅晶体的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，其特征在于，所述板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽；所述通槽至少为两个。
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