[实用新型]多晶硅还原炉无效
申请号: | 201120085522.8 | 申请日: | 2011-03-28 |
公开(公告)号: | CN201962075U | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 李仙寿;吴梅 | 申请(专利权)人: | 四川瑞晟光伏材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 620041 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种多晶硅还原炉,包括炉体和底盘,所述底盘上具有多对均匀分布的电极,所述电极的排布呈蜂窝状,具体为:所述底盘中心具有六个电极,所述六个电极以所述底盘的中心为中心点呈正六边形排布,所述六个电极分别位于所述正六边形的六个顶点处;以所述正六边形为中心,其它电极向外排布,并且,最外层电极的连线近似为以所述底盘的中心为圆心的圆。本实用新型实施例提供的多晶硅还原炉,提高了多晶硅产品的质量,并且,通过扩展电极的对数,在保证产品质量的同时,还能够降低生产单位质量的多晶硅产品的能量消耗。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,包括炉体和底盘,所述底盘上具有多对均匀分布的电极,所述电极的排布呈蜂窝状,具体为:所述底盘中心具有六个电极,所述六个电极以所述底盘的中心为中心点呈正六边形排布,所述六个电极分别位于所述正六边形的六个顶点处;以所述正六边形为中心,其它电极依次向外排布,并且,最外层电极的连线近似为以所述底盘的中心为圆心的圆。
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