[实用新型]一种拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶无效
| 申请号： | 201120101900.7 | 申请日： | 2011-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN201915168U | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 杨静;王桂奋;王迎春;杨瑞祥;张斌;杨健 | 申请（专利权）人： | 金坛正信光伏电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213251 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶，由定心杆、扭转台阶和旋转拉杆组成，定心杆位于扭转台阶的上方，旋转拉杆位于扭转台阶的下方，三者同轴，扭转台阶的横截面形状为正多边形或切边圆形。它与旋转提升杆的下端定心孔和扭转沉孔配合，在不削弱子晶强度的前提下，实现了子晶与旋转提升杆之间同轴配合和扭矩传递，从结构上消除子晶断裂的缺陷。消除了因子晶轴线与旋转提升杆轴线不重合而产生硅棒圆度和圆柱度精度超差的缺陷，提高了硅棒的几何尺寸精度和形位精度，从而提高了硅棒的利用率。在接棒过程中，旋转子晶螺纹套，子晶和旋转提升杆都不会转动。消除了松开子晶螺纹套会带动硅棒旋转而产生硅棒表面划伤或爆瓷的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 精密 断裂 轴子 | ||
【主权项】：
一种拉制精密硅棒的防断裂同轴子晶，其特征是：它由定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)组成，定心杆(21)位于扭转台阶(22)的上方，旋转拉杆(23)位于扭转台阶(22)的下方，定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)的轴线重合，定心杆(21)的直径与旋转提升杆(1)上的定心孔(11)的直径相对应，两者之间的配合间隙为0.005～0.03毫米，定心杆的高度(A)略小于定心孔的深度(B)；扭转台阶(22)的横截面形状和大小与拉晶炉的旋转提升杆(1)上的扭转沉孔(12)相对应，两者之间的配合间隙为0.03～0.10毫米，扭转台阶的高度(C)略大于扭转沉孔的深度(D)；旋转拉杆(23)的直径与子晶螺纹套(3)上的子晶孔(32)相对应，两者之间的配合间隙为0.03～0.10毫米。
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