[实用新型]一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘

摘要

本实用新型公开了一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘。其包括有吸盘（1）、密闭的冷却液储存容器（2）和真空泵（3），吸盘的上面设有一排沟槽（11），吸盘内部设有内腔（12），内腔与沟槽的底部连通，吸盘的侧部设有与内腔连通的冷却液接口（13）和抽真空接口（14），冷却液储存容器通过冷却液管（4）与冷却液接口连接，真空泵通过真空吸管（5）与抽真空接口连接，冷却液储存容器与真空吸管之间接有冷却液回流管（6）。本实用新型结合内部沟槽循环水吸水冷方式，使吸合时更牢固、加工时冷却效果更好，不容易在磨削时因受热而变形，有效提高超薄工件磨削加工的精度与效率。

主权项

一种超薄料磨削加工用沟槽内冷式真空吸盘，其特征在于：包括有吸盘（1）、密闭的冷却液储存容器（2）和真空泵（3），所述的吸盘（1）的上面设有一排沟槽（11），吸盘（1）内部设有内腔（12），内腔（12）与沟槽（11）的底部连通，吸盘（1）的侧部设有与内腔（12）连通的冷却液接口（13）和抽真空接口（14），所述的冷却液储存容器（2）通过冷却液管（4）与冷却液接口（13）连接，所述的真空泵（3）通过真空吸管（5）与抽真空接口（14）连接，冷却液储存容器（2）与真空吸管（5）之间接有冷却液回流管（6）。