[实用新型]单光源双光路并行共焦测量系统无效
| 申请号： | 201120104324.1 | 申请日： | 2011-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202119408U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余晓芬;余卿 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单光源双光路并行共焦测量系统，其特征是激光光源发射的准直光经第一分光镜分成两路准直光，其中一路准直光在经微透镜阵列分束后，依次经过第二分光镜和第三分光镜照射在透镜上；另一路准直光经依次经第一反射镜和第二反射镜照射在数字微镜器件DMD上，由数字微镜器件DMD分束后向第三分光镜反射，并经第三分光镜照射在透镜上；透镜的输出光线经物镜组聚焦在工作台上的被测物表面，被测物表面反射光依次经由物镜组、透镜、第三分光镜和第二分光镜构成的反射光路投射在CCD中，完成并行共焦测量。本实用新型可以实现精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 双光路 并行 测量 系统 | ||
【主权项】：
单光源双光路并行共焦测量系统，其特征是：激光光源(1)发射的准直光经第一分光镜(2)分成两路准直光，其中一路准直光在经微透镜阵列(3)分束后，依次经过第二分光镜(4)和第三分光镜(5)照射在透镜(6)上；另一路准直光经依次经第一反射镜(10)和第二反射镜(11)照射在数字微镜器件DMD(12)上，由所述数字微镜器件DMD(12)分束后向第三分光镜(5)反射，并经第三分光镜(5)照射在透镜(6)上；所述透镜(6)的输出光线经物镜组(7)聚焦在工作台(8)上的被测物表面，被测物表面反射光依次经由物镜组(7)、透镜(6)、第三分光镜(5)和第二分光镜(4)构成的反射光路投射在CCD(9)中；所述数字微镜器件DMD(12)和微透镜阵列(3)切换为不同时工作。
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