[实用新型]循环冷却钽金属表面钝化装置

摘要

本实用新型涉及一种循环冷却钽金属表面钝化装置，其包括热处理反应室及一使反应器内气体循环冷却的系统，所述气体循环冷却系统主要包括：气体冷却管道、气体缓冲室和气体循环泵；其中，气体循环泵将温度较低的气体送入反应室下部，并将反应室里温度较高的气体从反应室上部抽出，经过气体冷却管道而被冷却后再送入反应室下部。利用本实用新型的钽金属表面钝化装置进行钽金属表面钝化，安全可靠，生产效率高，不会发生钽金属的激烈氧化；得到的钽金属氧含量低，并且由如此制得的钽金属阳极漏电流低，电性能好。

主权项

一种循环冷却钽金属表面钝化装置，其包括热处理炉，所述热处理炉包括：反应室(10)、组成所述反应室(10)的带水冷夹套的炉壳(11)、抽空管道（41）、设置于所述炉里的加热器（50）及置于加热器（50）内容纳钽粉（70）的热处理坩埚（80），其特征在于该钝化装置还包括一使反应器内气体循环冷却的系统(100A)，所述气体循环冷却系统(100A)主要包括气体冷却管道(08)、气体缓冲室（20）和气体循环泵（09），其中‑气体冷却管道(08)，该气体冷却管道的进气口与反应室上部出口(07)相连，其出口与气体循环泵(09)进口相连，被冷却的气体通过循环泵(09)从反应室气体入口（40）送入反应室下部；‑气体缓冲室（20），该气体缓冲室（20）设有惰性气体入口（21）和含氧气体入口（22），所述缓冲室串联到气体循环泵（09）和进入反应室的管路中。