[实用新型]一种气相沉积炉用三级过滤系统有效
| 申请号： | 201120115199.4 | 申请日： | 2011-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202061405U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张淑蓉;王利花 | 申请（专利权）人： | 西安电炉研究所有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;B01D46/02;B01D46/30;C23C16/44 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 710061 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种气相沉积炉用三级过滤系统。目前，此类设备是在原有真空炉的基础上改造而成，在沉积过程中，混合气体经单级过滤器过滤后，约有总量30%的粉尘进入泵腔，污染泵油，使得泵频繁发生卡滞现象。本实用新型包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵，一级过滤器的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器的上部腔体内设置有水冷挡板，一级过滤器的下部为锥形捕集腔，一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，三级过滤器输出口与真空泵连接。本实用新型减少固体分子进入真空泵的数量，保证真空泵能长期保持稳定工作状况，减小工人劳动强度，提高生产效率，确保证产品质量的稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 三级 过滤 系统 | ||
【主权项】：
一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特征在于：包括一级过滤器（1）、二级过滤器（2）、三级过滤器（3）、真空泵（5），一级过滤器（1）的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器（1）的上部腔体内设置有水冷挡板（4），一级过滤器（1）的下部为锥形捕集腔，一级过滤器（1）、二级过滤器（2）、三级过滤器（3）依次连接，三级过滤器（3）的输出口与真空泵（5）连接。
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