[实用新型]硅片脱干装置无效
| 申请号： | 201120124603.4 | 申请日： | 2011-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN202057155U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 赵体月;刘西诚;岳耀清 | 申请（专利权）人： | 济宁佳华电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272400 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 硅片脱干装置，由硅片夹、外壳、电机轴、旋转盘、排水口、支架、旋转电机组成，其特征是外壳设置为圆筒形，外壳的上部开口，外壳的下端设置支架，外壳的下端侧面上设置排水口，外壳的下端中心轴线位置上设置电机轴，电机轴的上端设置旋转盘，旋转盘的四周对称设置四个硅片夹，电机轴的下端设置旋转电机，本实用新型的有益效果是硅片脱干装置结构简单，使用方便，适宜于中小企业推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 装置 | ||
【主权项】：
硅片脱干装置，由硅片夹(1)、外壳(2)、电机轴(3)、旋转盘(4)、排水口(5)、支架(6)、旋转电机(7)组成，其特征是外壳(2)设置为圆筒形，外壳(2)的上部开口，外壳(2)的下端设置支架(6)，外壳(2)的下端侧面上设置排水口(5)，外壳(2)的下端中心轴线位置上设置电机轴(3)，电机轴(3)的上端设置旋转盘(4)，旋转盘(4)的四周对称设置四个硅片夹(1)，电机轴(3)的下端设置旋转电机(7)。
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