[实用新型]一种大功率紫外激光器

摘要

一种大功率紫外激光器，属固态激光技术领域，包括主振荡器、混合腔板条功率放大器和非线性频率转换器，主振荡器由LD泵浦源、耦合系统、基频波输入腔镜、激光晶体、RTP电光Q开关、基频波输出腔镜顺序排列而成；混合腔板条功率放大器由LD泵浦源、耦合系统、球面镜、激光板条晶体、柱面镜顺序排列所构成；非线性频率转换器由聚焦透镜、二倍频晶体和三倍频晶体构成。本实用新型既解决了块状晶体放大系统热效应和单次通过放大增益不够的问题，也解决了一般稳定腔板条放大系统光强易饱和不利于功率放大的问题。该结构简单紧凑且效率高，使用方便，安装调试容易，便于工程化推广。

主权项

一种大功率紫外激光器，包括主振荡器、混合腔板条功率放大器和非线性频率转换器三部分，其特征在于主振荡器由LD泵浦源、耦合系统、基频波输入腔镜、激光晶体、RTP电光Q开关、基频波输出腔镜顺序排列而成；混合腔板条功率放大器由LD泵浦源、耦合系统、球面镜、激光板条晶体、柱面镜顺序排列所构成；非线性频率转换器由聚焦透镜、二倍频晶体和三倍频晶体构成；主振荡器后面顺序放置二分之一波片、整形系统和两个45°折返镜，使得从基频波输出腔镜输出的基频波经整形系统整形后由45°折返镜将其传送到混合腔板条功率放大器中；上述各部件分别固定在各自的基座上，各基座固定在底板上；各部件的基座是由铝制成的，带有冷水管道，通过通水对相应的基座进行冷却；整个装置用外壳将其罩在底板上。