[实用新型]功率芯片探针研磨装置无效
| 申请号： | 201120131606.0 | 申请日： | 2011-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN202088061U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张宛平;孙德海 | 申请（专利权）人： | 上海依然半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/16 | 分类号： | B24B19/16 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种功率芯片探针研磨装置，其包括固定机构、研磨机构、第一控制机构、第二控制机构、水砂纸，固定机构用于固定功率芯片探针，固定机构包括基板和环氧树脂模块，环氧树脂模块位于基板靠近研磨机构的一侧；研磨机构包括移动载台、电机和驱动块，电机设置于移动载台上，驱动块由电机驱动，水砂纸固定在驱动块上；第一控制机构与研磨机构连接且用于控制研磨机构沿第一方向运动；第二控制机构与研磨机构相连接且用于控制研磨机构沿第二方向运动。本实用新型功率芯片探针研磨装置缩短磨针时间并且提高了产品加工质量的稳定性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 芯片 探针 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种功率芯片探针研磨装置，其特征在于，功率芯片探针研磨装置包括固定机构、研磨机构、第一控制机构、第二控制机构、水砂纸，固定机构用于固定功率芯片探针，固定机构包括基板和环氧树脂模块，环氧树脂模块位于基板靠近研磨机构的一侧；研磨机构包括移动载台、电机和驱动块，电机设置于移动载台上，驱动块由电机驱动，水砂纸固定在驱动块上；第一控制机构与研磨机构连接且用于控制研磨机构沿第一方向运动；第二控制机构与研磨机构相连接且用于控制研磨机构沿第二方向运动。
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