[实用新型]一种预烤装置有效
申请号: | 201120141920.7 | 申请日: | 2011-05-06 |
公开(公告)号: | CN202061785U | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
发明(设计)人: | 徐鹏飞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | B05D3/02 | 分类号: | B05D3/02 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 武晨燕;周义刚 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种预烤装置,具有腔体,所述腔体由热板、上板和至少三个侧板构成,所述腔体上具有进风口和出风口;所述腔体内具有:倾斜板、以及和倾斜板对应的溶剂收集盒;其中,所述倾斜板的一边固定在上板上,另一边固定在一个侧板上;所述溶剂收集盒设置在侧板上,且位于所述倾斜板的下方。采用本实用新型能够防止凝结的溶剂滴落到在预烤装置中进行预烤的基板上造成异物缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
【主权项】:
一种预烤装置,具有腔体,所述腔体由热板、上板和至少三个侧板构成,所述腔体上具有进风口和出风口;其特征在于,所述腔体内具有:倾斜板以及和倾斜板对应的溶剂收集盒;其中,所述倾斜板的一边固定在上板上,另一边固定在一个侧板上;所述溶剂收集盒设置在侧板上,且位于所述倾斜板的下方。
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