[实用新型]回绕式辐射热补偿保护加热器

摘要

本实用新型提供一种回绕式辐射热补偿保护加热器，包含：一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体其第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌或氧化锡；通过本实用新型其第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，而可稳定对该石英管体加热，以避免现有易因过热对石英管体表面造成毛细孔洞，而造成金属污染及石英管体寿命降低的缺失，同时可使本实用新型以较短时间达到供应制程所需稳定温度，进而使本实用新型可达到提升生产效率及增加石英管体使用寿命的目的。

主权项

一种回绕式辐射热补偿保护加热器，其特征在于，其包含：一石英管体，该石英管体设有至少一第一流道，该石英管体设有至少一第二流道，该第二流道与该第一流道相贯通，该石英管体设有第一中空部；一第一加热装置，该第一加热装置设于该石英管体的第一中空部内，又该第一加热装置的材质为碳化硅、氧化锌、氧化锡或导热金属材料，该第一加热装置设有第一导电端点与第二导电端点。