[实用新型]真空镀膜机油扩散泵冷井无效
| 申请号： | 201120148248.4 | 申请日： | 2011-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202044806U | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | 徐军 | 申请（专利权）人： | 浙江阿莱德生物科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00;F04F5/40;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 314203 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机油扩散泵冷井，包括制冷管、冷井座和挡板，所述冷井座固定于真空室与真空泵之间，所述制冷管在所述冷井座内成螺旋状环绕设置，所述挡板沿所述制冷管倾斜设置。本实用新型由于采用了上述技术方案，制冷管在冷井座内成螺旋状环绕设置，挡板沿制冷管倾斜设置，即将挡板改为螺旋形设置，并且与制冷管平行焊接，使得油气分子不易通过该冷井，挡油效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机油 扩散 泵冷井 | ||
【主权项】：
真空镀膜机油扩散泵冷井，包括制冷管(1)、冷井座(3)和挡板(2)，其特征在于：所述冷井座(3)固定于真空室(4)与真空泵(5)之间，所述制冷管(1)在所述冷井座(3)内成螺旋状环绕设置，所述挡板(2)沿所述制冷管(1)倾斜设置。
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