[实用新型]镀膜机真空室内气体捕集器无效

专利信息
申请号: 201120148551.4 申请日: 2011-05-11
公开(公告)号: CN202070189U 公开(公告)日: 2011-12-14
发明(设计)人: 徐军 申请(专利权)人: 浙江阿莱德生物科技有限公司
主分类号: B01D8/00 分类号: B01D8/00;B01D5/00;F04F5/40;C23C14/00
代理公司: 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人: 韩洪
地址: 314203 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种镀膜机真空室内气体捕集器,包括制冷管、框架和若干块挡板,所述框架竖直固定于真空室与真空泵之间的真空室抽气口位置,所述制冷管包括间隔设置的直管段和弯管段,一段直管段上倾斜固定有一块挡板。本实用新型由于采用了上述技术方案,利用超低温的温差对流原理以及充分的光密封将油气分子、水分子充分吸附在挡板表面,从而使工件的金膜质量和附着力得到提高。大幅度提高抽速和真空度,因为抽速的提高从而缩短了生产时间,减少了电耗。
搜索关键词: 镀膜 真空 室内 气体 捕集器
【主权项】:
镀膜机真空室内气体捕集器,其特征在于:包括制冷管(1)、框架(3)和若干块挡板(2),所述框架(3)竖直固定于真空室(4)与真空泵(5)之间的真空室抽气口位置,所述制冷管(1)包括间隔设置的直管段(11)和弯管段(12),一段直管段(11)上倾斜固定有一块挡板(2)。
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