[实用新型]板框硅片保护结构

摘要

本实用新型涉及一种板框硅片保护结构，包括用于放置硅片的板框以及至少两盖板，盖板与板框通过设置在板框相对两侧边上的滑轨滑动连接；滑轨包括上下对齐且平行排列的上轨道及下轨道，其中一盖板与上轨道滑动连接；另一盖板与下轨道滑动连接。本实用新型通过在放置硅片的板框相对两侧边上设置盖板，盖板与板框通过滑轨滑动连接，滑轨包括上下对齐且平行排列的上轨道及下轨道，安装盖板后，可有效防止异物落到硅片表面，提高了硅片镀膜质量，同时提高了硅片的成品率。而且，本实用新型结构新颖，盖板在板框上可以滑动，不影响硅片的放置。

主权项

一种板框硅片保护结构，包括用于放置硅片的板框，其特征在于，还包括至少两盖板，所述盖板与板框通过设置在板框相对两侧边上的滑轨滑动连接；所述滑轨包括上下对齐且平行排列的上轨道及下轨道，其中一盖板与所述上轨道滑动连接；另一盖板与所述下轨道滑动连接。