[实用新型]适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置无效

专利信息
申请号: 201120156287.9 申请日: 2011-05-17
公开(公告)号: CN202067762U 公开(公告)日: 2011-12-07
发明(设计)人: 常天海;马威;吴金成;常建;梁添 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01J37/244 分类号: H01J37/244;G01N23/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型的适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置,包括电子枪、电源和电源控制模块;电子枪由分别套装在绝缘筒内且轴线重合的热阴极、调制极、加速极、一次聚焦腔和二次聚焦腔依次固定连接构成;电源包括灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源,并分别与热阴极、调制极、加速极、一次聚焦腔和二次聚焦腔连接;电源控制模块包括D/A转换模块与PLC;PLC通过D/A转换模块与电源连接,以实现对电源电压的控制。本实用新型可实现随时控制电子发射的通断,保证发射的电子束径在极小的范围内,出射的电子能量可调节范围大,是固体材料二次电子发射系数智能测试装置的必要组成部分。
搜索关键词: 适用于 二次电子 发射 系数 智能 测试 一次 电子 装置
【主权项】:
适用于二次电子发射系数智能测试的一次电子发射装置,包括电子枪、电源和电源控制模块;所述电子枪包括分别套装在绝缘筒内且轴线重合并依次固定连接的热阴极、调制极、加速极;所述电源包括灯丝电源、调制电源、加速电源;所述电源控制模块包括可编程控制器;其特征在于:所述电子枪还包括分别套装在绝缘筒内并与加速极依次连接的一次聚焦腔和二次聚焦腔;所述电源还包括一次聚焦电源和二次聚焦电源;灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源分别与对应的热阴极、调制极、加速极、一次聚焦腔和二次聚焦腔连接;所述电源控制模块还包括数字量模拟量转换模块,可编程控制器通过数字量模拟量转换模块与灯丝电源、调制电源、加速电源、一次聚焦电源和二次聚焦电源连接。
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