[实用新型]太阳能电池硅片扩散炉无效
| 申请号： | 201120159647.0 | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN202099414U | 公开（公告）日： | 2012-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吕定先 | 申请（专利权）人： | 湖南华威太阳能高科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 425000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种有效改善硅片表面方块电阻均匀性的太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，设有多个排放孔，所述石英舟底面设有多个流通孔，以便进气管进入的扩散气体通过流通孔从排放孔排出，使得扩散气体沿着平行于硅片表面的方向流动，从而有效地改善了硅片表面方块电阻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硅片 扩散 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池硅片扩散炉，包括炉体、设置在所述炉体内的石英舟、用于使扩散气体进入所述炉体内的进气管和扩散处理后排放尾气的排放管；其特征在于：所述进气管位于所述石英舟的上方，设有多个进气孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，设有多个排放孔，所述石英舟底面设有多个流通孔。
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