[实用新型]一种多晶制绒设备中的防压篮装置有效
| 申请号： | 201120159867.3 | 申请日： | 2011-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN202124673U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 严俊;李敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/08 | 分类号： | C30B33/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;张文军 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶制绒设备中的防压篮装置，包括两根机械臂和工艺槽体，所述的两根机械臂悬置在所述的工艺槽体的上方，所述的两根机械臂中的一根机械臂上设有花篮检测传感器。所述的两根机械臂中未装有花篮检测传感器的机械臂上设有压篮检测传感器；所述的压篮检测传感器下方设有导杆；所述的导杆能沿着设有所述的压篮检测传感器的机械臂滑动。本实用新型采用双重检测方案，可以有效避免事故发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 设备 中的 防压篮 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶制绒设备中的防压篮装置，包括两根机械臂(1)和工艺槽体(2)，所述的两根机械臂(1)悬置在所述的工艺槽体(2)的上方，其特征在于，所述的两根机械臂(1)中的一根机械臂上设有花篮检测传感器(3)。
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