[实用新型]液态源的汽化补液装置无效
| 申请号： | 201120160976.7 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202118510U | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李东升;缪南山;效广涛 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器，所述补液容器中设有内部加热棒，所述内部加热棒的加热区靠近补液容器的底部，其中，所述补液容器内设有液位计，所述补液容器的底部开孔设有补液管路，所述补液管路和控制阀门相连。本实用新型提供的液态源的汽化补液装置，通过在补液容器的底部设置补液管路，实现连续补液，此种补液方式可有效避免对容器内蒸汽压和温度造成过大影响，保证系统的稳定性和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 汽化 补液 装置 | ||
【主权项】：
一种液态源的汽化补液装置，包括盛放液态源的补液容器（1），所述补液容器（1）中设有内部加热棒（4），所述内部加热棒（4）的加热区靠近补液容器（1）的底部，其特征在于，所述补液容器（1）内设有液位计（2），所述补液容器（1）的底部开孔设有补液管路（3），所述补液管路（3）和控制阀门（5）相连。
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