[实用新型]一种行星式外延生长设备中的托盘装置

摘要

一种行星式外延生长设备中的托盘装置，包括制备两只以上的带有外齿圈的基片盒组件；一只外围固定环和一只外围内齿圈连成一体，固定在反应装置内部；一只主托盘与一只下层扩散托盘连成一体，能够做水平连续匀速转动，本实用新型的装置在工作时，基片盒组件的轮齿与外围内齿圈的轮齿啮合，带动基片绕其轴心发生连续的匀速自转，使基片获得了相同的反应气源浓度场和温度场，从而保障基片获得厚度或掺杂浓度均匀的外延生长层。本实用新型不但有效的解决了“保障外延薄膜厚度或掺杂浓度均匀”这个核心问题，而且生产装置的制造和操作更便简和经济高效。

主权项

一种行星式外延生长设备中的托盘装置，其特征在于：所述装置包括：一只圆形主托盘（1），所述圆形主托盘（1）的中心有一个安装张力盘（2）的圆孔（11），所述圆形主托盘（1）的同一圆周上对称布置至少两个安装基片盒组件（3）的圆孔（12），每个所述圆孔（12）上有石墨滚珠（15）及其转动的环形轨道（14），所述圆形主托盘（1）底面的同一圆周上对称布置至少三个安装石墨支柱（45）的圆形盲孔（13）；一只张力盘（2）；至少两只基片盒组件（3），每只所述基片盒组件（3）包括外齿轮圈（31），基片盒（32），石墨压盖（33），所述外齿轮圈（31）的底部端面有环形轨道（311）、轮齿（312），所述基片盒（32）有基片沉积面孔（321）、基片座（322）、石墨压盖座（323）、上卡边（324）和下卡边（325），所述上卡边（324）和下卡边（325）的直径大于所述外齿轮圈（31）轮毂的内径，小于所述外齿轮圈（31）轮毂的中径，所述石墨压盖（33）上面中心有一个工艺螺孔（331）；一只圆形下层扩散托盘（4），所述圆形下层扩散托盘（4）的底面中心有一个安装石墨支撑组件（44）的多边形凹槽（41）和圆形通孔（42），所述圆形下层扩散托盘（4）上面的同一圆周上对称安装至少三个石墨支柱（45）及其安装盲孔（43）；所述石墨支撑组件（44）包括一个石墨支撑管（441）和一个石英套管（442），所述石墨支撑管（441）有一个多边形的台（4411）；一个外围固定环（5），所述外围固定环（5）的内圈有一个支撑所述圆形下层扩散托盘（4）的环形台（51），所述外围固定环（5）上面的同一圆周上对称安装至少三个石墨支柱（53）及其安装盲孔（52）；一个外围内齿圈（6），所述外围内齿圈（6）底面的同一圆周上至少均布三个安装石墨支柱（53）的圆形盲孔（61），所述外围内齿圈（6）的内环有轮齿（62）和一个遮罩所述圆形主托盘（1）的环形台（63）。