[实用新型]吹扫装置和具有它的等离子体增强化学气相沉积设备

摘要

本实用新型提出一种用于等离子体增强化学气相沉积设备的吹扫装置，包括：内管，所述内管的第一端敞开且所述内管的第二端封闭，所述内管的管壁上设有通孔；和外管，所述外管套设在所述内管外面以在所述外管与所述内管之间限定出环形空间，所述环形空间通过所述通孔与所述内管的内腔连通，所述环形空间的第一端和第二端封闭，所述外管的管壁上设有将所述环形空间与外界连通的分配孔。本实用新型还提出一种等离子体增强化学气相沉积设备。根据本实用新型的吹扫装置，结构简单，使用方便，具有该吹扫装置的等离子体增强化学气相沉积设备能够快速清理载板上的颗粒，从而改善了加工件的外观，提高设备使用率。

主权项

一种吹扫装置，其特征在于，包括：内管，所述内管的第一端敞开且所述内管的第二端封闭，所述内管的管壁上设有通孔；和外管，所述外管套设在所述内管外面以在所述外管与所述内管之间限定出环形空间，所述环形空间通过所述通孔与所述内管的内腔连通，所述环形空间的第一端和第二端封闭，所述外管的管壁上设有将所述环形空间与外界连通的分配孔。