[实用新型]立式真空镀膜机的自动取放基板装置

摘要

本实用新型提供一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，包括主架、基板载具及多个取放组件，各取放组件包括固设于主架的第一驱动单元、固设于相对应第一驱动单元的第二驱动单元、固设于第二驱动单元的滑块拨件、可滑动地与基板载具结合且可与滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及位于基板载具内的弹性元件；其中，各顶抵滑块设有伸入基板容置空间的顶抵端，弹性元件的两端分别抵住基板载具及相对应的顶抵滑块；本实用新型利用第一驱动单元及第二驱动单元使滑块拨件位移，并让滑块拨件拨动或离开顶抵滑块，借此，基板能够被多个顶抵滑块抵住而确实定位。

主权项

一种立式真空镀膜机的自动取放基板装置，其特征在于，所述立式真空镀膜机的自动取放基板装置包括：一立起的主架；一基板载具，其为一设于所述主架内的立起的框体，所述基板载具能滑动地与所述主架连接并形成一基板容置空间；以及多个取放组件，其固设于所述主架并各包括一固设于所述主架的第一驱动单元、一固设于相对应的所述第一驱动单元的第二驱动单元、一固设于所述第二驱动单元的滑块拨件、一能滑动地与所述基板载具结合且能与所述滑块拨件凹凸结合的顶抵滑块及一位于所述基板载具内的弹性元件；其中，各所述第一驱动单元及各所述第二驱动单元使相对应的所述滑块拨件能有两个维度的方向的位移，各所述顶抵滑块设有一伸入所述基板容置空间的顶抵端，所述弹性元件的两端分别抵住所述基板载具及相对应的所述顶抵滑块。