[实用新型]多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备无效
| 申请号： | 201120177392.0 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202072480U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 王岭;刘小锋;刘畅;周祥顺 | 申请（专利权）人： | 四川新光硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 曹晋玲;林辉轮 |
| 地址： | 614000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气体分离方法的专用设备领域。本实用新型公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，包括脱氯装置和终端净化装置；所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；所述终端净化装置上设置有入口与出口，终端净化装置内填充有活性炭，终端净化装置通过入口的管道与脱氯装置的出气口相连；所述终端净化装置的容积为活性炭吸附塔容积的五十分之一至十分之一。通过本实用新型设备回收的氢气纯度高，能直接用于电子级多晶硅的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 回收 氢气 精脱氯 设备 | ||
【主权项】：
多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，其特征在于，包括脱氯装置和终端净化装置；所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；所述终端净化装置上设置有入口与出口，终端净化装置内填充有活性炭，终端净化装置通过入口的管道与脱氯装置的出气口相连；所述终端净化装置的容积为活性炭吸附塔容积的1/50～1/10。
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