[实用新型]吸附微小物体的吸气组件

摘要

一种吸附微小物体的吸气组件，有：吸头结构，用于吸附放置在固定于分度盘上的定位装置内的微小物体；气缸，通过管路和设置在管路上的气缸控制阀连接压缩气体，气缸的伸缩部件连接吸头结构的底部，用于驱动吸头结构上下动作；底座上设置有气缸安装板，气缸安装板上固定所述的气缸。吸头结构包括：吸头固定板，所述的吸头固定板的底面连接在气缸的伸缩部件上；多个吸头定位块，分别固定在吸头固定板上；吸头，固定在吸头定位块上，用于吸附微小物体，通过管路连接提供用于吸附微小物体的真空负压的真空发生器。所述的用于放置微小物体的定位装置和分度盘上在与吸头相对应处开有贯通孔。本实用新型利用真空吸附定位装置中的晶体，避免了晶体被探针带走的现象。

主权项

一种吸附微小物体的吸气组件，其特征在于，包括：吸头结构(4)，用于吸附放置在固定于分度盘(9)上的定位装置(8)内的微小物体；气缸(3)，所述的气缸(3)通过管路和设置在管路上的气缸控制阀连接压缩气体，所述气缸(3)的伸缩部件连接吸头结构(4)的底部，用于驱动吸头结构(4)上下动作；底座(1)，所述的底座(1)上设置有气缸安装板(2)，所述的气缸安装板(2)上固定所述的气缸(3)。