[实用新型]真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备有效
申请号: | 201120179336.0 | 申请日: | 2011-05-31 |
公开(公告)号: | CN201940149U | 公开(公告)日: | 2011-08-24 |
发明(设计)人: | 杜汉盛;陈艳珊;马建修;刘雷 | 申请(专利权)人: | 广东华南特种气体研究所有限公司;佛山市华特气体有限公司 |
主分类号: | B01D53/047 | 分类号: | B01D53/047 |
代理公司: | 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 | 代理人: | 曹津燕 |
地址: | 528234 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备,包括:冷却吸附剂液氮接入口,真空腔接入口,设备真空腔,设备吸附剂容器腔,冷却吸附剂的6片式低温翅片,高纯气体吸附纯化产品出口,冷却吸附剂液氮出口,更换吸附剂出口,待吸附纯化高纯气体入口和监测纯化气体压力表;设备吸附剂容器腔位于设备真空腔内部,设备真空腔的外表面为设备的外壳;冷却吸附剂液氮接入口连接到冷却吸附剂的6片式低温翅片,真空腔接入口和设备真空腔连通;冷却吸附剂的6片式低温翅片位于设备吸附剂容器腔内。 | ||
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【主权项】:
1.真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备,其特征在于,所述设备包括:冷却吸附剂液氮接入口,真空腔接入口,设备真空腔,设备吸附剂容器腔,冷却吸附剂的6片式低温翅片,高纯气体吸附纯化产品出口,冷却吸附剂液氮出口,更换吸附剂出口,待吸附纯化高纯气体入口和监测纯化气体压力表;设备吸附剂容器腔位于设备真空腔内部,设备真空腔的外表面为设备的外壳;冷却吸附剂液氮接入口连接到冷却吸附剂的6片式低温翅片,真空腔接入口和设备真空腔连通;冷却吸附剂的6片式低温翅片位于设备吸附剂容器腔内,冷却吸附剂的6片式低温翅片的轴线位于设备吸附剂容器腔的正中心;高纯气体吸附纯化产品出口位于设备吸附剂容器腔的下端左侧,冷却吸附剂液氮出口位于冷却吸附剂的6片式低温翅片的下端,更换吸附剂出口位于设备吸附剂容器腔的下端右侧,待吸附纯化高纯气体入口位于设备吸附剂容器腔的上端右侧,监测纯化气体压力表和设备吸附剂容器腔连通。
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