[实用新型]多晶硅生产废料全回收系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产废料全回收系统，它包括SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元，其底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接硅粉回收单元的杂质输入口，萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，萃取剂回流单元的输出口分别连接SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口。本实用新型可从废料中回收硅粉、金属氯化物、SiCl4以及氯硅烷高聚物，既节约了能源，又无废渣、废水排出，不会对环境造成污染。

主权项

一种多晶硅生产废料全回收系统，其特征在于：它包括废料罐、SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元、硅粉回收单元、金属氯化物回收单元，其中：多晶硅生产过程中产生的废料从该废料罐的输入口输入，该废料罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的废料输入口，该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的底料输出口连接萃取剂与杂质分离单元的输入口，该萃取剂与杂质分离单元的杂质输出口连接该硅粉回收单元的杂质输入口，该萃取剂与杂质分离单元的萃取剂输出口连接萃取剂回流单元的输入口，该萃取剂回流单元的输出口分别连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口、该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的萃取剂输入口，该硅粉回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输出口连接该金属氯化物回收单元的含金属氯化物的洗涤剂输入口，洗涤剂罐的输出口分别连接该硅粉回收单元、该金属氯化物回收单元的洗涤剂输入口，该金属氯化物回收单元的洗涤剂输出口、还原的萃取剂输出口分别连接该洗涤剂罐、萃取剂回收罐的输入口，该萃取剂回收罐、萃取剂罐的输出口连接该SiCl4及氯硅烷高聚物回收单元的萃取剂输入口。