[实用新型]一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣有效
申请号: | 201120187796.8 | 申请日: | 2011-06-07 |
公开(公告)号: | CN202072476U | 公开(公告)日: | 2011-12-14 |
发明(设计)人: | 周英军 | 申请(专利权)人: | 周英军 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人: | 赵明辉 |
地址: | 753000 宁夏回族自治区石嘴*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅生产过程中还原炉中使用的石墨卡瓣,尤其是一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣。包括石墨卡瓣本体,在该石墨卡瓣本体上开有用于夹持硅芯的夹持孔,其特点是,所述夹持孔的截面为矩形、三角形、菱形或梯形。本实用新型的石墨卡瓣适合与截面为矩形的方硅芯配合使用,由于将石墨卡瓣上传统的截面为圆形的夹持孔改造成截面为矩形的夹持孔,配合对方硅芯的夹持,实现了石墨卡瓣与方硅芯的面接触,保证了石墨卡瓣与方硅芯四个面的最大面积接触,这样在实际生产过程中缩短了击穿时间,压二级电流的时间明显变短,产品能耗低于圆硅芯的能耗,成品率、沉积速度和一次转化率相对较高,从而提高了多晶硅的生产效率。 | ||
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【主权项】:
一种适用于方硅芯的矩形孔石墨卡瓣,包括石墨卡瓣本体(2),在该石墨卡瓣本体(2)上开有用于夹持硅芯的夹持孔(1),其特征在于:所述夹持孔(1)的截面为矩形、三角形、菱形或梯形。
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