[实用新型]单晶炉腔体排气系统有效
| 申请号： | 201120197832.9 | 申请日： | 2011-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN202131392U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 华贵俊;徐昌华;史才成;秦舒 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 223700 江苏省宿迁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种单晶炉腔体排气系统，用于生长单晶硅，其包括单晶炉腔体、保温盖、导流筒、放置硅料的石英坩埚、设于石英坩埚外侧以导热的三瓣坩埚、用于加热三瓣坩埚的加热器、保温筒、石墨托杆以及炉底盘，所述单晶炉腔体设有炉膛排气口，所述保温筒包括内保温筒、外保温筒以及位于内保温筒与外保温筒之间的夹层空间，所述内保温筒设有靠近保温盖的若干通气孔。本实用新型实施例中通过采用双层中空保温筒，改变传统的气体的气流流动方向，从而达到有效减少气体中的硅料挥发物与石墨器件接触的机会，缩小硅料挥发物对石墨器件的损坏，延长石墨器件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉腔体 排气 系统 | ||
【主权项】：
一种单晶炉腔体排气系统，用于生长单晶硅，其包括单晶炉腔体、保温盖、导流筒、放置硅料的石英坩埚、设于石英坩埚外侧以导热的三瓣坩埚、用于加热三瓣坩埚的加热器、保温筒、石墨托杆以及炉底盘，所述单晶炉腔体设有炉膛排气口，其特征在于：所述保温筒包括内保温筒、外保温筒以及位于内保温筒与外保温筒之间的夹层空间，所述内保温筒设有靠近保温盖的若干通气孔。
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