[实用新型]磁悬浮泵有效
| 申请号： | 201120200041.7 | 申请日： | 2011-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN202091261U | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 余文军;王怀锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/58 | 分类号： | F04D29/58 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁悬浮泵，其包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。本实用新型的磁悬浮泵，通过在马达和研磨液腔体之间增设冷却水腔体，冷却水腔体内的冷却水可以降低马达和研磨液腔体的温度，进而可以降低流经研磨液腔体的研磨液的温度，防止研磨液温度过高致使聚集效应增强，从而有效减少了聚集效应产生的生成物颗粒数量，进而降低了后续研磨制程中生成物颗粒损伤晶圆的概率，有效提高研磨后的晶圆的良率。另外，通过减弱研磨液的聚集效应，减少聚集效应产生的生成物颗粒数量，也可以避免这些生成物颗粒堵塞过滤器，确保后续研磨制程的稳定可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 | ||
【主权项】：
一种磁悬浮泵，包括马达和研磨液腔体，所述研磨液腔体内设有叶轮，所述马达带动所述叶轮转动，其特征在于，所述马达和研磨液腔体之间还设有冷却水腔体。
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