[实用新型]一种基于声光效应加工微圆孔的激光扫描装置

摘要

本实用新型公开了一种基于声光效应加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射激光束面上设有一块平面反射镜，在平面反射镜与激光器之间设置有声光调制器；所述沿平面反射镜反射激光束下方分别依次设置有两块声光偏转器，两块声光偏转器下方设置有平行平板，平行平板下方依次设置有聚焦镜和待加工件；所述两块声光偏转器分别与计算机电连接。该装置通过两个互相垂直设置的声光偏转器，控制声光晶体中声波频率的非线性变化，改变衍射光束的偏转角，实现出射光束扫描出微圆孔。该装置易于控制，对于激光进行了色散补偿，可扫描出半径可调的微米量级的微圆孔，结构简单容易实现。

主权项

一种基于声光效应加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(8)，其特征在于，在所述激光器(1)出射激光束面上设有一块平面反射镜(3)，在平面反射镜(3)与激光器(1)之间设置有声光调制器(2)；所述沿平面反射镜(3)反射的激光束下方分别依次设置有两块互相垂直设置的声光偏转器，两块声光偏转器下方设置有平行平板(6)，平行平板(6)下方依次设置有聚焦镜(7)和待加工件(8)；所述两块声光偏转器分别与计算机(9)电连接。