[实用新型]一种42对棒的新型多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种42对棒的新型多晶硅还原炉。还原炉包括还原炉底盘、还原炉炉体、还原炉顶盘、42对电极、进气口、出气口，42对电极固定在底盘上且分五层排布，最外层有12对电极，最内层至第四层分别为3对、6对、9对、12对电极，每一层电极都呈正六边形排布，这种排布方式更密集、更均匀，充分利用了还原炉内的空间，减少了热辐射散热损失，提高了还原炉单炉产量及降低了能耗。还原炉底盘和顶盘布置了相同的通气口数，以实现还原炉底盘进气-顶盘出气和顶盘进气-底盘出气两种进气方式的周期性变换，避免了进料混合气走短路，消除了还原炉内的死区，便于尾气温度的调控，大大提高了进料混合气的转化率和还原炉的单炉产量。

主权项

一种42对棒的新型多晶硅还原炉，其特征是还原炉底盘规则的分布着42对电极、100个通气口和1个中心切换用通气口，还原炉顶盘规则分布100个通气口、1个中心切换用通气口；还原炉底盘上电极分为5层，其中内部的四层按正六边形排布，从中心向外依次按3对、6对、9对、12对、12对规则分布，内层相邻的三根电极以正三角形排布；每一根电极的周围均匀排布三个通气口，三个通气口位于该电极为中心的成正三角形顶点处。