[实用新型]真空设备的感测装置有效
| 申请号： | 201120218615.3 | 申请日： | 2011-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN202126508U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 黄泳钊;郑博仁;谢昆山;张延任 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 任永武;须一平 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种真空设备的感测装置，包含一个设置在一个腔体的一个第一腔壁的一个外壁面上的接收器，以及一个设置在该腔体的一个第二腔壁的一个外壁面上的发射器；该发射器能发出至少一束能直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。本实用新型主要是利用该接收器与该发射器分别设置在该第一腔壁的外壁面与该第二腔壁的外壁面上，配合该接收器、该基板与该发射器间所构成的特殊相对位置关系，让整体的维护成本低，且能长期维持精确的感测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 装置 | ||
【主权项】：
一种真空设备的感测装置，其设置在该真空设备的一个腔体上，该腔体容置一块基板，并具有一个第一腔壁，以及一个相反于该第一腔壁的第二腔壁，该真空设备的感测装置包含一个接收器，以及一个发射器；其特征在于：该接收器是设置在该第一腔壁的一个外壁面上，该发射器是设置在该第二腔壁的一个外壁面上，且发出至少一束直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。
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