[实用新型]一种玻璃镀膜工艺室有效
| 申请号： | 201120219921.9 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN202131364U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 52606*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。本玻璃镀膜工艺室简单，将抽气机构和镀膜机构设于同一个镀膜室内，可以省去独立设于相邻两个镀膜室之间的抽气室，简化玻璃镀膜生产线，使设备结构紧凑。同时，采用分子泵对镀膜室直接进行抽真空，可有效提高镀膜过程中的抽真空效率，改善玻璃表面的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方，其特征在于，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于肇庆市科润真空设备有限公司，未经肇庆市科润真空设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120219921.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
