[实用新型]一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴有效
| 申请号： | 201120225838.2 | 申请日： | 2011-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN202275804U | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郑建博 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;B05B13/02;B08B3/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 528000 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，通过在上喷杆和下喷杆上设置喷嘴组，且喷嘴组上部的喷嘴排列的密度大于在下部的喷嘴排列的密度，这样的结构使得液晶及OLED面板就不会由于上下部水洗置换不同而产生水洗不匀，减少此类水洗不匀不良的缺陷，提高液晶及OLED面板的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 液晶 oled 面板 湿刻机 水洗 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种用于制造液晶及OLED面板的湿刻机水洗槽喷嘴，包括在对应的湿刻机水洗槽内待洗的液晶及OLED面板(1)的运行方向的上方和下方，分别设置与该运行方向平行的上喷杆(2)和下喷杆(3)，在上喷杆(2)和下喷杆(3)上且面向待洗的液晶及OLED面板(1)的垂直位置分别设置有喷嘴组，其特征在于：所述的喷嘴组内在上部的喷嘴(4)排列的密度大于在下部的喷嘴(4)排列的密度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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