[实用新型]一种平面硅靶材有效
| 申请号： | 201120227524.6 | 申请日： | 2011-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN202123744U | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 罗永春 | 申请（专利权）人： | 厦门映日光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B9/04 | 分类号： | B32B9/04;B32B15/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门市诚得知识产权代理事务所 35209 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种平面硅靶材，包括平板型硅材，其特征在于：平板型硅材的背面依次镀有铬材料层、镍铬材料层、银材料层，最后在银材料层上涂铟材料层；所述的平板型硅材为正方形或长方形；所述的平板型硅材为多晶硅；本实用新型铟材料层与平板型硅材的粘合强度高且导电性能较好，提高靶材使用的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 硅靶材 | ||
【主权项】：
一种平面硅靶材，包括平板型硅材，其特征在于：平板型硅材的背面依次镀有铬材料层、镍铬材料层、银材料层，最后在银材料层上涂铟材料层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门映日光电科技有限公司，未经厦门映日光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120227524.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种两用环形变压器次级线包
- 下一篇：双电压薄绝缘环氧浇注干式变压器
